目前，電子工業超純水設備的工藝基本上是以下三種，其余的工藝流程，大都是在以下三種基本工藝流程的基礎上，進行不同組合搭配衍生而來。現將他們的優缺點分別列于下面：

超純水設備工藝一：

天天日天天干采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式。

其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

特點：初次投資比采用離子交換樹脂方式要稍高，但離子再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。是目前比較經濟與流行的一種工藝。

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超純水設備工藝二：

天天日天天干采用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式。

其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

天天日天天干優點：初次投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環境有一定的破壞。

超純水設備工藝三：

天天日天天干采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業超純水的的方式。

天天日天天干這是制取超純水的新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

特點：是目前制取超純水更先進、更環保的的工藝，超純水設備天天日天天干不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水，對環境沒什么破壞性。其缺點在于初次投資相對以上兩種方式過于昂貴。

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